64. "Микролитография" У.Моро, часть 1, 1990, издательство "Мир"

Перевод с английского под редакцией КФН Р. Х. Тимерова
с предисловием академика К. А. Валиева
Введение
Позитивные фоторезисты
Позитивные радиационные резисты
Негативные фоторезисты
Негативные радиационные резисты
Подготовка поверхности и нанесение резистных пленок
Предэкспозиционная термообработка (сушка) резистных пленок
Фотолитография
Радиационное экспонирование